Sputterquellen

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Magnetron Sputtering        Sputter-Kathode, Magnetronquelle

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Caburn MDC Sputterquellen Caburn MDC Europe Ltd. - www.caburn.co.uk
- 44227 Castrop-Rauxel, Deutschland

Herr Althoff, email: sales@caburn.co.uk, Tel. +49 (0)2305 947 508

Caburn-MDC Europe, together with MDC and ISI, aims to provide the most complete range of high- and ultra-high vacuum components to the European scientific community. From basic flanges to innovative valves, feedthroughs and deposition equipment, our comprehensive online catalogue can provide you with details on a wide range of standard products, all fully specified and priced online. Many of our products are available for rapid delivery.
Produkte:   Sputterquellen

Magnetron sputtering: Sputtering, which is a physical vapour deposition (PVD) coating technique, is a common method of depositing both metal layers and insulating layers on a substrate. Caburn's sputter source range is from 1.3", 2", 3" and 4" MAK sources. The range also includes substrate heaters.


FHR Anlagenbau Doppelring-Magnetron-Quellen FHR Anlagenbau GmbH -
Am Hügel 2, 01458 Ottendorf-Okrilla, Deutschland

email, Tel.
Produkte:   Sputterquellen

Doppelring - Magnetronquelle
Doppelring-Magnetron-Quellen sind rotationssymetrische planare Quellen, die aus einer inneren Scheibe und einem äußeren Ring bestehen.
Durch den Einsatz von Doppelring- Magnetrons wird es möglich, größere Substratdurchmesser (oberhalb 100 mm) mit einer hohen Schichtdickenhomogenität stationär zu beschichten:
- Substratgröße 6" bei stationärer Beschichtung
- DC, HF, MF - Sputtern,
- Targets elektrisch leitend oder isolierend,
- Getrennte Magnetfeldregelung,
- integrierter Gaseinlaß.


ROBEKO Beschichtungsquellen ROBEKO -
- Ackerwiese 14, 67728 Munchwiler, Deutschland

Rolf Schaefer, email, Tel.

Der Eigentümer verfügt über 15 Jahre Erfahrung in Konstruktion, Herstellung und Verkauf von Komponenten der Vakuum- und Dünnschichttechnik.
Teils aus eigener Herstellung, teils in Vertretung namhafter Partner wie Gencoa, SCI oder Process Materials sind wir Ihr Ansprechpartner, wenn es um Komponenten, Materialien und Service rund um die Dünnschichttechnik geht.
Produkte:   Beschichtungsquellen

Sputtermagnetrons, Reaktivgaskontrolle, Plasmastromversorgungen

Beschichtungsmaterialien, Sputtertargets, Aufdampfmaterialien




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